Huhtikuun 16. päivänä nosturin hitaasti noustessa Suzhou Jingzhou Equipment Technology Co., Ltd.:n kehittämä ja valmistama ensimmäinen kotimainen fluorivetyhappopuhdistuslaite (HF Cleaner) nostettiin asiakkaan päässä olevalle telakointialustalle ja työnnettiin sitten tehtaalle. Laite liikkui sisään sujuvasti.
Fluorivetyhappopuhdistus on keskeinen lenkki näyttöprosessissa. Sen puhdistusvaikutus vaikuttaa suoraan laitteen rakenteen lopulliseen suorituskykyyn, tehokkuuteen ja vakauteen, ja se liittyy lopputuotteen saantoon. Fluorivetyhappopuhdistus ei ainoastaan poista epäpuhtauksia aktiivisen kerroksen pinnalta, vaan myös passivoi pinnan, mikä vähentää rajapinnan epäpuhtauksien adsorptiokykyä. Pinnan puhtausvaatimukset ovat erittäin tiukat, eikä teoriassa sallita hiukkasten, metalli-ionien tai orgaanisten liimojen läsnäoloa. Kiinnittyneiden vesihöyry- ja oksidikerrosten pinnan on oltava atomitason tasainen jälkikäsittelyprosessin prosessiluotettavuuden varmistamiseksi.
Julkaisun aika: 13. toukokuuta 2024